盛美上海单晶圆高温SPM设备通过验证
栏目：行业资讯
发布时间：2025-03-05
新华财经上海3月4日电盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“盛美上海”）（科创板股票代码：688082）3月4日发布消息称，其单晶圆中／高温
新华财经上海3月4日电盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“盛美上海”）（科创板股票代码：688082）3月4日发布消息称，其单晶圆中／高温硫酸过氧化混合物（SPM）设备已成功通过一家逻辑芯片制造商的大批量制造验证。
盛美上海表示，截止目前，该设备已交付了13家客户。该系统采用盛美上海全新的专有喷嘴设计以消除SPM工艺中的酸雾飞溅问题，有助于提高颗粒控制能力并减少腔体的清洗维护频率，从而延长设备的正常运行时间（uptime）。该系统能够应对28纳米及以下节点前道与后道工艺中晶圆所需的多种湿蚀刻与清洗工艺。
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